微纳电子材料实验平台

 

   发布日期:2013-09-18  浏览次数:590

 

本平台包括微纳电子材料设计、制备、表征测试三个模块,培养学生在材料设计、制备、表征和测试等方面的实验技能。

开设课程:《微纳电子材料》、《微纳结构与形貌分析》、《半导体工艺技术》、《纳米物理学》等5门实验课程或课内实验。其中,《纳米物理学》被西安交通大学、哈尔滨工程大学、南京航空航天大学、湘潭大学等多所高校采用。

仪器设备:Vasp、Castep等10套,PECVD、PLD、荧光光谱仪、蓝紫和红外激光器等20余台。


 
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