微纳电子器件实验平台

 

   发布日期:2013-09-18  浏览次数:560

 

本平台注重虚实结合,设微电子器件设计与微电子器件测试2个模块,可开展微纳电子器件的结构优化、性能仿真和C-V、I-V的特征测试。基于该平台,近三年来学生申请国家发明专利3项,在国内外核心期刊发表学术论文6篇,获江苏省优秀本科毕业设计2篇。

开设课程:《半导体器件物理》、《微电子器件设计》、《半导体功率器件》等8门实验课程或课内实验。

仪器设备:Synopsys TCAD、Silvaco等40套,Dell塔式服务器等15台,半导体参数测试仪、C-V 特性测试仪等40余台。

 
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