MEMS实验平台

 

   发布日期:2014-09-09  浏览次数:932

 

微电子机械系统(MEMS)是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术,它将微纳加工技术与机械、电子、化学、物理、光学、生物等技术相结合,对未来人类生活产生革命性的影响。为此,我们将在本实验室新建一个MEMS实验平台,主要致力于MEMS设计方法学、工艺建模与仿真、MEMS/IC单片集成等方面的实验和研究。面向学生开设的课程有《MEMS与微系统设计》、《微机电系统设计基础》等。

 
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