微纳器件实验平台

 

   发布日期:2014-09-09  浏览次数:1075

 

微纳电子器件平台目前已开设了《半导体器件物理》、《现代半导体器件物理》、《新型微电子器件》、《半导体封装与测试》、《微电子器件设计》、《半导体功率器件》、《薄膜晶体管导论》、《微纳电子材料与器件》、《微电子材料与器件实验》、《集成电路TCAD技术与实践》和《集成电子学》等多门本科生和研究生实验。

本实验平台包含两个模块:(1)微纳电子器件设计模块。该模块配备了微电子器件 TCAD 工具,如Synopsys TCAD、Medici、Silvaco等共40套,Dell塔式服务器5台、Dell刀片式服务器2台、Sun Blade服务器5台和联想计算机64台,并配备有千兆光纤网络设备。基于该平台可开展的实验项目包括器件结构的二维和三维模拟与优化、工艺方案拟定和优化、二极管、双极型晶体管和MOS 型晶体管的直流、交流和瞬态特性的模拟与仿真等。(2)微纳电子器件测试模块。该模块配备了半导体参数测试仪、晶体管特性图示仪、C-V 特性测试仪、自动和手动大平台探针台、电源、信号源、示波器等仪器设备共40余台,基于该平台可开展的实验项目包括常见的PN结、MIS晶体管、双极型晶体管、MOS晶体管等的C-V特性、直流特性、交流特性、瞬态特性、射频特性等测试。

 

 
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